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工业金相显微镜
RQP-405
产品介绍
RQP-405大平台工业显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为高级工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
产品特点

技术规格

观察头

30°铰链式三目(50mm-75mm)

目镜

WF10×/25mm

WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板

转换器

带DIC插孔明暗场五孔转换器

物镜

平场无限远长工作 距离明暗场物镜:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm

10×/0.25B.D/W.D.16mm

20×/0.40B.D/W.D.10.6mm

40×/0.60B.D/W.D.5.4mm

平台

双层移动平台

平台尺寸: 350mm×310mm

移动范围:250mm×250mm

滤色片

插板式滤色片(绿、蓝、中性)

调焦

粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm

光源

落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节

偏光装置

检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路

检测工具

0.01mm测微尺

可供附件

目镜:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm

130万、200万、300万、500万像素CMOS电子目镜

平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、

80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm

二维测量软件

专业金相图像分析软件

DIC(10×、20×、40×、100×)

摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×

压平机

彩色1/3寸CCD 520条线

XJP-405特点说明

1.  采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。

2.  拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,并在每一

观察法中均提供高清晰的图像质量。

3.  采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。

4.  WF10X(Φ25)超大视野目镜,长工作距离明暗场金相物镜。

5.  可插DIC微分干涉装置的转换器。


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